真空蒸着装置

真空蒸着装置

電気加熱炉

ミストCVD装置（自作）

家庭用電子レンジを使用したマイクロ波加熱炉（自作）

スパッタエッチング装置／スパッタ蒸着装置（作製中）

NaI(Tl)シンチレーション検出器

レーザーカッター

TROTEC製　型番：Speedy 100

3Dプロッタ

各種電気計測装置／電源装置

• オシロスコープ
• マルチメータ
• 任意波形発生装置
• 直流安定化電源
• 高電圧電源

フォトルミネッセンス分光法（Photoluminescence Spectroscopy）

電気特性評価装置（I-V，C-V）

X線光電子分光法（X-ray Photoelectron Spectroscopy）

日本電子製　型番：JPS-9010TR

分析領域

マクロ領域：6mmφ以上
マイクロ領域：1mmφ～0.2mmφ

試料ステージ

最大90mmφ、厚さ 5mm以下の試料が装填可能。10mm×10mm、厚さ5mm以下の試料を6個以上同時に装填可能

標準Ｘ線源

Al/Mgツインターゲット 12ｋＶ 50ｍA以上

試料交換室でのイオンエッチングと分析室でのXPS測定が自動で繰返し行える

試料水平型多目的Ｘ線回折装置（X-Ray Diffraction）

リガク製　型番：UltimaⅣ

最大定格出力：3kW
ﾀｰｹﾞｯﾄ：Cu
ｽｷｬﾝﾓｰﾄﾞ：θs/θd運動，θs，θd単独
ｺﾞﾆｵﾒｰﾀ半径：285mm
2θ測定角範囲：-3～162°
最小ｽﾃｯﾌﾟ角度：0.0001°

超高分電界放射形走査電子顕微鏡（Scanning Electron Microscopy：SEM）

日本電子製　型番：JSM-7001F

TTLS型 二次電子像分解能：1.2nm

観察倍率：×10～1,000,000

加速電圧：0.1kV（試料バイアス電圧負荷）～30kV

EDSエネルギー分解能：133eV以下

検出可能元素：Be～U

透過型電子顕微鏡（Transmission Electron Microscopy）

日本電子製　型番：JEM-2010

観察倍率：×2,000～×1,200,000
加速電圧：80，100，120，160，200ｋV
高分散電子回折カメラ長：4～80ｍ，14ステップ
制限視野電子回折カメラ長：10～250ｃｍ

基板加工機

ミッツ製　型番：Auto Lab

加工範囲：229 [m] × 300 [mm]
分解能：0.156 [μm]
最小パターン幅：0.1 [mm]
付属品：自動工具交換，カメラモニタ標準装備
入力データファイル形式：が-バーデータ，DXF形式

3Dプロッタ

Roland DG製　型番：MDX-540S

XYZ動作ストローク：テーブルサイズ：500[mm]×400[mm]×155[mm]／550[mm]×420 [mm]
取り付け可能ワーク重量：加速度0.2G時／最大12 [Kg]、加速度0.1/0.05G時／最大20 [Kg]
ソフトウェア分解能：RML-1時／0.01 [mm/step]、NCコード時／0.001 [m/step]
機械的分解能：0.001 [mm/step]
位置決め精度：±0.1 [mm/300mm]
繰り返し精度：±0.05 [mm]
スピンドルモーター：DCブラシレスモーター　最大400 [W]
オートツールチェンジャー（４本）搭載
樹脂／軽金属の加工が可能。簡易ソフトを使用して、STLファイルからRML-1／NCコードを生成可能

レーザーカッター

Epilog Laser製　型番：Mini 18

加工範囲：475 [mm] × 305 [mm]
最大収容高さ：102 [mm] （テーブル取り外し時152 [mm]）
出力：30 [W]
レーザー発信器：0.1Hz～100Hz
対応ソフトウェア：19.6kN（地震波） ，9.8kN（正弦波）

3Dプリンタ

キーエンス製　型番：AGILISTA－3100

造形サイズ：297 [mm] × 210 [mm] × 200 [mm]
解像度：635 × 410 [dpi]
Z分解能：高分解能 15 [μm]，標準 20 [μm]
モデル材／サポート材：透明樹脂／水溶性樹脂
入力データファイル形式：stlファイル形式

3Dスキャナ

Roland DG製　型番：LPX-600

スキャン領域：幅（直径）： 254 [mm]／高さ：406.4 [mm]
最小スキャンピッチ：0.2 [mm]
センサー：非接触式レーザーセンサー
ソフトウェア：読み込み Dr. PICZA3／形状修正　Pixform Pro Ⅱ／ie：OS2